晶圆级封装工艺流程概述
引言
晶圆级封装是半导体工业中不可或缺的环节之一,在芯片加工完毕后,需要将芯片封装在一个可以供PCB(印刷电路板)使用的器件之中,目前市场上常见的晶圆级封装有QFN、BGA等。封装工艺的成功与否直接影响到芯片的性能和使用寿命。
工艺流程的概述
晶圆级封装工艺流程的主要步骤包括:晶圆切割、焊盘制作、芯片粘贴、焊接、封装、测试等几个部分。
晶圆切割
在晶圆切割过程中,晶圆首先被切割成大小适中的芯片,以便于进行下一步的操作。晶圆切割使用的是高速旋转的锯片进行切割,并通过将芯片粘贴在薄片上的方式来保证切割的准确和稳定性。
焊盘制作
焊盘制作是晶圆级封装中的一个重要环节,也是整个封装工艺的核心步骤之一。在这一步骤中,需要利用蚀刻技术在芯片的金属表面进行加工,形成可以进行焊接的焊盘。这里需要注意的是,在焊盘制作中需要严格控制电路图的设计和焊盘的制作质量,以确保下一步骤中的焊接效果和耐久性。
芯片粘贴与焊接
在芯片粘贴中,首先需要将芯片与衬底的粘合剂相混合,并在芯片上均匀涂布。接着芯片被放置在底部基板上,并在260~280度的高温下进行烘烤。待烘烤完成之后,芯片即粘贴在底部基板上。接下来的焊接过程采用热固性脂质块作为黏合剂,通过热压的方式,将芯片与底部基板黏合在一起。
封装与测试
封装过程将焊盘和芯片包裹在一起,使用塑料封装材料在芯片和电路之间形成隔离,保护芯片。最终的测试环节可以检测封装后的芯片的性能和可靠性,以确认整个晶圆级封装工艺的成功与否。
总结
晶圆级封装工艺流程涉及到多种材料和设备的使用,在封装工艺中需要严格掌控材料和设备的品质,另外还需要考虑加工效率和成本的问题。为了确保晶圆级封装效果的成功,需要掌握全面的加工知识和专业的操作技巧。